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吉时利Keithley二极管/晶体管/场效应管I-V特性曲线测试方案

  时间: 2022-12-06      364    

  集成电路的组成包含了大量的三端口、双端口器件,如我们常见的二极管、晶体管、场效应管等,这些半导体分立器件是组成集成电路的基础。我们常常在测试实验中用I-V特性曲线来表示微电子器件、工艺及材料特性,I-V曲线的值也决定了这些元器件的基本参数。通常用吉时利数字源表进行这些半导体分立器件测试的过程中,由于源表本身无法将测试数据及I-V曲线图进行保存,为了提高测试效率及测试数据的准确性记录且可追溯,吉时利源表软件的诞生将替代手动繁琐操作快速保存测试数据及图像。

  分立器件I-V特性测试的主要目的是通过实验,帮助工程师提取半导体器件的基本I-V特性参数,并在整个工艺流程结束后评估器件的优劣。

吉时利Keithley二极管/晶体管/场效应管I-V特性曲线测试方案-半导体分立器件测试软件

  测试方案:

  半导体分立器件I-V特性测试方案,泰克公司与合作伙伴使用泰克吉时利公司开发的高精度源测量单元(SMU)为核心测试设备,搭配纳米软件功能丰富的NS-SourceMeter源表自动化测试软件,及精准稳定的运行速度,为客户提供了可靠易用的解决方案,极大的提高了用户的工作效率。

吉时利Keithley二极管/晶体管/场效应管I-V特性曲线测试方案-半导体分立器件测试软件

  测试功能:

  二极管特性的测量与分析、极型晶体管BJT特性的测量与分析、MOSFET场效应晶体管特性的测量与分析、MOS 器件的参数提取

  系统兼容吉时利源表中 2400 系列(单通道)、2450系列(单通道)和2600 系列(单通道、多通道);

  系统可实时显示源表测试到的数据,同时进行图形绘制;

  系统可实现配置信息、测试数据和图形的导出,配置信息和测试数据可选择 CSV 格式或者 txt 格式导出。

  系统可以实现I-V、I-P、I-R、V-P、V-R、R-P、R-t、V/A-t、P-t的图像。

  系统结构:

  系统主要由一台或两台源精密源测量单元(SMU)、夹具或探针台、吉时利源表上位机软件NS-SourceMeter构成。以三端口MOSFET 器件为例,共需要以下设备:

  1、两台吉时利 2450 精密源测量单元

  2、四根三同轴电缆

  3、夹具或带有三同轴接口的探针台

  4、三同轴T型头

  5、源表上位机软件NS-SourceMeter与源测量单元(SMU)的连接方式如下图所示,可以使用LAN/USB/GPIB/RS232中的任何一个接口进行连接。

吉时利Keithley二极管/晶体管/场效应管I-V特性曲线测试方案-半导体分立器件测试软件

  运行测试举例:

   测试内容:伏安特性曲线(900KΩ)

  测试配置:全局测试参数默认,接线方法(二线法),扫描模式(从起点到终点单项扫描),传感器模式(关闭),通道(CH1),输出类型(电压输出),起点电压(0.10V),终点电压(10.00V),扫描步长(0.10)、电流限制(1.00A),测量间隔(0.01S),循环间隔(0.10S),循环次数(1.00次)

  测量结果:源表会根据改模块配置,如扫描模式(从起点到终点单项扫描),传感器模式(关闭),通道(CH1),输出类型(电压输出),起点电压(0.10V),终点电压(10.00V),扫描步长(0.10)、电流限制(1.00A),测量间隔(0.01S),循环间隔(0.10S),循环次数(1.00次)进行扫描,如下图所示。

吉时利Keithley二极管/晶体管/场效应管I-V特性曲线测试方案-半导体分立器件测试软件


  Keithley吉时利源表测试上位机软件详情及下载地址https://www.namisoft.com/Softwarecenterdetail/642.html

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